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當前位置:首頁產品中心工具、包裝類日本FLOURO 福樂型號BC-K3FLOURO福樂伯努利卡盤搬運晶圓晶體BC-K3

FLOURO福樂伯努利卡盤搬運晶圓晶體BC-K3
產品簡介:

FLOURO福樂伯努利卡盤搬運晶圓晶體BC-K3
活躍于半導體制造工廠、醫(yī)療設備應用和食品制造工藝等廣泛市場

產品型號:型號BC-K3

更新時間:2025-03-29

廠商性質:經銷商

訪 問 量 :155

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  • FLOURO福樂伯努利卡盤搬運晶圓晶體BC-K3

FLOURO福樂伯努利卡盤搬運晶圓晶體BC-K3

晶圓非接觸轉移伯努利卡盤 BC 系列的特點

FLOURO福樂伯努利卡盤搬運晶圓晶體BC-K3
  • 主體可以從手柄的 20 度、45 度和 90 度三個使用角度中進行選擇,用于平面放置的 BC-K 系列兼容 2 英寸到 12 英寸。
    (使用角度為固定角度,不更換主機無法改變使用角度。

  • 導向擋塊具有柔和的錐度,以便晶圓邊緣與點接觸。

  • 由防靜電聚碳酸酯制成的導向環(huán)可以進行目視定位,并且可以檢查吸入狀態(tài)。

  • 由于主體使用導電尼龍樹脂,減輕了重量。

  • 兩面都有圖案印刷,可以處理難以處理的薄至 50 μm 的晶圓。

  • 我們還支持定制產品,例如與對象匹配的方形。

FLOURO福樂伯努利卡盤搬運晶圓晶體BC-K3

由于伯努利卡盤是在高壓下使用的,因此出于安全原因,建議以與相同的方式將按鈕朝下使用。 (請參考左圖。 )

要使用伯努利卡盤,您需要一臺壓縮機和一個油箱為 9 升或更高的調節(jié)器。
(我們不出售它)


非接觸式用于輸送Bernoulli 卡盤

用于平面放置

FLOURO福樂伯努利卡盤搬運晶圓晶體BC-K3
  • 材料

  • 本體:導電 MC 尼龍
    導環(huán):防靜電聚碳酸酯

  • 附屬品

  • 導電管 6×4 (1.5m)

  • 使用角度

  • 20° / 45° / 90°

自適應晶圓尺寸代號氣壓 (MPa)重量 (g)
2 英寸BC-K2 型0.150
3 英寸BC-K3 系列0.170
4 英寸BC-K4 型0.1580
5 英寸BC-K5 系列0.15100
6 英寸BC-K6 型0.15120
8 英寸BC-K8 系列0.2170

平面貼裝時:300 微米或更小

FLOURO福樂伯努利卡盤搬運晶圓晶體BC-K3
  • 材料

  • 本體:導電 MC 尼龍
    導環(huán):防靜電聚碳酸酯

  • 附屬品

  • 導電管 6×4 (1.5m)

  • 使用角度

  • 20° / 45° / 90°

自適應晶圓尺寸代號氣壓 (MPa)重量 (g)
6 英寸BC-K6-300型0.15170
8 英寸BC-K8-300型0.2220
12 英寸BC-K12-300 系列0.35430

對于 protoss 載體:300 微米或更小

FLOURO福樂伯努利卡盤搬運晶圓晶體BC-K3
  • 材料

  • 本體:導電 MC 尼龍
    導環(huán):防靜電聚碳酸酯

  • 附屬品

  • 導電管 6×4 (1.5m)

  • 使用角度

  • 45° / 90°

自適應晶圓尺寸代號氣壓 (MPa)重量 (g)
6 英寸BC-P6-3000.15180
8 英寸BC-P8-3000.2240
12 英寸BC-P12-3000.35450

臺式Bernoulli

FLOURO福樂伯努利卡盤搬運晶圓晶體BC-K3

這將是一個特定于客戶的訂單。
新開發(fā)的吸附部分由抗靜電塑料制成,通過精密加工制造出吸附高的結構。
當氣體從墊片表面的注射孔注入時,氣體的粘度將工件向上拉,并產生伯努利效應引起的吸附力。 利用這一點的革命性產品是臺式伯努利系統(tǒng)。

  • 低壓空氣通過墊表面一個具有仰角的小直徑孔注入,當它靠近工件時,工件被伯努利效應拉起并吸附。 由于它是非接觸式的,因此可以在不損壞工件的情況下進行運輸。 (壓力 : 50 kPa, 流量 : 4.5 升)

  • 作部分為筆式小氣閥(采用C001),作輕柔,有筆觸的感覺。

使用的材料

  • 閥體:導電尼龍樹脂

(體積阻力值:106 Ω)













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