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藤田(重慶)精密儀器設(shè)備有限公司

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當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心工具、包裝類日本FLOURO 福樂(lè)FLOURO福樂(lè)搬運(yùn)晶圓卡盤(pán)BC-K8-300

FLOURO福樂(lè)搬運(yùn)晶圓卡盤(pán)BC-K8-300
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

FLOURO福樂(lè)搬運(yùn)晶圓卡盤(pán)BC-K8-300
活躍于半導(dǎo)體制造工廠、醫(yī)療設(shè)備應(yīng)用和食品制造工藝等廣泛市場(chǎng)

產(chǎn)品型號(hào):

更新時(shí)間:2025-03-29

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

訪 問(wèn) 量 :123

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FLOURO福樂(lè)搬運(yùn)晶圓卡盤(pán)BC-K8-300
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晶圓非接觸轉(zhuǎn)移伯努利卡盤(pán) BC 系列的特點(diǎn)

FLOURO福樂(lè)搬運(yùn)晶圓卡盤(pán)BC-K8-300
  • 主體可以從手柄的 20 度、45 度和 90 度三個(gè)使用角度中進(jìn)行選擇,用于平面放置的 BC-K 系列兼容 2 英寸到 12 英寸。
    (使用角度為固定角度,不更換主機(jī)無(wú)法改變使用角度。

  • 導(dǎo)向擋塊具有柔和的錐度,以便晶圓邊緣與點(diǎn)接觸。

  • 由防靜電聚碳酸酯制成的導(dǎo)向環(huán)可以進(jìn)行目視定位,并且可以檢查吸入狀態(tài)。

  • 由于主體使用導(dǎo)電尼龍樹(shù)脂,減輕了重量。

  • 兩面都有圖案印刷,可以處理難以處理的薄至 50 μm 的晶圓。

  • 我們還支持定制產(chǎn)品,例如與對(duì)象匹配的方形。

FLOURO福樂(lè)搬運(yùn)晶圓卡盤(pán)BC-K8-300

由于伯努利卡盤(pán)是在高壓下使用的,因此出于安全原因,建議以與相同的方式將按鈕朝下使用。 (請(qǐng)參考左圖。 )

要使用伯努利卡盤(pán),您需要一臺(tái)壓縮機(jī)和一個(gè)油箱為 9 升或更高的調(diào)節(jié)器。
(我們不出售它)


非接觸式用于輸送Bernoulli 卡盤(pán)

用于平面放置

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  • 材料

  • 本體:導(dǎo)電 MC 尼龍
    導(dǎo)環(huán):防靜電聚碳酸酯

  • 附屬品

  • 導(dǎo)電管 6×4 (1.5m)

  • 使用角度

  • 20° / 45° / 90°

自適應(yīng)晶圓尺寸代號(hào)氣壓 (MPa)重量 (g)
2 英寸BC-K2 型0.150
3 英寸BC-K3 系列0.170
4 英寸BC-K4 型0.1580
5 英寸BC-K5 系列0.15100
6 英寸BC-K6 型0.15120
8 英寸BC-K8 系列0.2170

平面貼裝時(shí):300 微米或更小

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  • 材料

  • 本體:導(dǎo)電 MC 尼龍
    導(dǎo)環(huán):防靜電聚碳酸酯

  • 附屬品

  • 導(dǎo)電管 6×4 (1.5m)

  • 使用角度

  • 20° / 45° / 90°

自適應(yīng)晶圓尺寸代號(hào)氣壓 (MPa)重量 (g)
6 英寸BC-K6-300型0.15170
8 英寸BC-K8-300型0.2220
12 英寸BC-K12-300 系列0.35430

對(duì)于 protoss 載體:300 微米或更小

FLOURO福樂(lè)搬運(yùn)晶圓卡盤(pán)BC-K8-300
  • 材料

  • 本體:導(dǎo)電 MC 尼龍
    導(dǎo)環(huán):防靜電聚碳酸酯

  • 附屬品

  • 導(dǎo)電管 6×4 (1.5m)

  • 使用角度

  • 45° / 90°

自適應(yīng)晶圓尺寸代號(hào)氣壓 (MPa)重量 (g)
6 英寸BC-P6-3000.15180
8 英寸BC-P8-3000.2240
12 英寸BC-P12-3000.35450

臺(tái)式Bernoulli

FLOURO福樂(lè)搬運(yùn)晶圓卡盤(pán)BC-K8-300

這將是一個(gè)特定于客戶的訂單。
新開(kāi)發(fā)的吸附部分由抗靜電塑料制成,通過(guò)精密加工制造出吸附高的結(jié)構(gòu)。
當(dāng)氣體從墊片表面的注射孔注入時(shí),氣體的粘度將工件向上拉,并產(chǎn)生伯努利效應(yīng)引起的吸附力。 利用這一點(diǎn)的革命性產(chǎn)品是臺(tái)式伯努利系統(tǒng)。

  • 低壓空氣通過(guò)墊表面一個(gè)具有仰角的小直徑孔注入,當(dāng)它靠近工件時(shí),工件被伯努利效應(yīng)拉起并吸附。 由于它是非接觸式的,因此可以在不損壞工件的情況下進(jìn)行運(yùn)輸。 (壓力 : 50 kPa, 流量 : 4.5 升)

  • 作部分為筆式小氣閥(采用C001),作輕柔,有筆觸的感覺(jué)。

使用的材料

  • 閥體:導(dǎo)電尼龍樹(shù)脂

(體積阻力值:106 Ω)



















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