FLOURO福樂搬運晶圓卡盤BC-P6-300

產品簡介：

FLOURO福樂搬運晶圓卡盤BC-P6-300
活躍于半導體制造工廠、醫療設備應用和食品制造工藝等廣泛市場

產品型號：

更新時間：2025-03-29

廠商性質：經銷商

訪問量：158

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產品介紹

FLOURO福樂搬運晶圓卡盤BC-P6-300
FLOURO福樂搬運晶圓卡盤BC-P6-300

主體可以從手柄的 20 度、45 度和 90 度三個使用角度中進行選擇，用于平面放置的 BC-K 系列兼容 2 英寸到 12 英寸。
（使用角度為固定角度，不更換主機無法改變使用角度。
導向擋塊具有柔和的錐度，以便晶圓邊緣與點接觸。
由防靜電聚碳酸酯制成的導向環可以進行目視定位，并且可以檢查吸入狀態。
由于主體使用導電尼龍樹脂，減輕了重量。
兩面都有圖案印刷，可以處理難以處理的薄至 50 μm 的晶圓。
我們還支持定制產品，例如與對象匹配的方形。

由于伯努利卡盤是在高壓下使用的，因此出于安全原因，建議以與相同的方式將按鈕朝下使用。（請參考左圖。）

要使用伯努利卡盤，您需要一臺壓縮機和一個油箱為 9 升或更高的調節器。
（我們不出售它）

自適應晶圓尺寸	代號	氣壓（MPa）	重量（g）
2 英寸	BC-K2 型	0.1	50
3 英寸	BC-K3 系列	0.1	70
4 英寸	BC-K4 型	0.15	80
5 英寸	BC-K5 系列	0.15	100
6 英寸	BC-K6 型	0.15	120
8 英寸	BC-K8 系列	0.2	170

自適應晶圓尺寸	代號	氣壓（MPa）	重量（g）
6 英寸	BC-K6-300型	0.15	170
8 英寸	BC-K8-300型	0.2	220
12 英寸	BC-K12-300 系列	0.35	430

自適應晶圓尺寸	代號	氣壓（MPa）	重量（g）
6 英寸	BC-P6-300	0.15	180
8 英寸	BC-P8-300	0.2	240
12 英寸	BC-P12-300	0.35	450

這將是一個特定于客戶的訂單。
新開發的吸附部分由抗靜電塑料制成，通過精密加工制造出吸附高的結構。
當氣體從墊片表面的注射孔注入時，氣體的粘度將工件向上拉，并產生伯努利效應引起的吸附力。利用這一點的革命性產品是臺式伯努利系統。

低壓空氣通過墊表面一個具有仰角的小直徑孔注入，當它靠近工件時，工件被伯努利效應拉起并吸附。由于它是非接觸式的，因此可以在不損壞工件的情況下進行運輸。（壓力： 50 kPa，流量： 4.5 升）
作部分為筆式小氣閥（采用C001），作輕柔，有筆觸的感覺。

使用的材料

（體積阻力值：106 Ω）

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