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日本Otsuka大塚薄膜厚度檢測儀OPTM-H3
產(chǎn)品簡介:

日本Otsuka大塚薄膜厚度檢測儀OPTM-H3
可攜帶至現(xiàn)場的手持式 可測量0.1μm單位
具有形狀的樣品也可非破壞的測量

產(chǎn)品型號:

更新時間:2025-04-10

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

訪 問 量 :256

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產(chǎn)品介紹

可攜帶至現(xiàn)場的手持式

日本Otsuka大塚薄膜厚度檢測儀OPTM-H3
● 可測量0.1μm單位

● 具有形狀的樣品也可非破壞的測量

● 不論基材材質(zhì)、可測量其鍍膜

日本Otsuka大塚薄膜厚度檢測儀OPTM-H3
與桌上型光學(xué)膜厚儀相比,Smart膜厚儀在“現(xiàn)場"以非破壞式直接量測樣品,且可以量測特殊形狀樣品。
與接觸式膜厚儀相比,Smart膜厚儀不僅不會破壞您的樣品,也不會因用戶不同而產(chǎn)生誤差且遠高于接觸式膜厚的量測精度。
與渦電流/電磁式膜厚儀相比,Smart膜厚儀不需要制作檢量線,且可以量測非金屬基材并且得到絕對值!

非接觸式載臺

對于濕膜或半導(dǎo)體晶圓等不想接觸的樣品,可以通過自由設(shè)定探頭位置進行非接觸測量。

產(chǎn)品開發(fā)-量測試作品

1.攜帶到合作廠商等,直接在現(xiàn)場量測效率Up

2.試作階段的檢查方法商定效率Up



規(guī)格樣式

量測原理

反射分光法(光干涉法)、非破壞性量測

膜厚量測范圍

1~50μm(顯示上限60μm)

重復(fù)精度

2.1σ 0.01μm(SiO2膜1μm)

量測時間

1秒內(nèi)

量測層數(shù)

1層

數(shù)據(jù)輸出

附屬操作屏幕顯示或以USB輸出Excel檔案

量測Spot

Φ1mm以下

重量

約1.1kg


選配

筆型探頭

能夠測量狹窄區(qū)域或形狀的樣品。 探頭端Φ6mm。



膜厚測量范圍

1μm~50μm

測量重復(fù)性

0.01μm

測量時間

1秒以下









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